纳米晶钛膜中氦注入的保持剂量

摘要：

在从室温到500℃的温度范围内,用卢瑟福质子背散射技术分别测量了不同能量、不同剂量注入的纳米晶钛膜中氦的浓度分布,不同温度时的保持剂量及其释放浓度.发现氦在这种纳米晶粒膜中其氦-钛原子浓度比达到41%-52%时能在室温到100℃的温度下长期稳定保持,若其原子浓度达52%-74%时也能在室温环境有效保持.文中对这种具有大的界面体积比的膜能有效保持氦这种惰性元素的可能机理从能量观点进行了初步探讨.

关键词：离子注入、纳米晶粒钛膜、氦、保持剂量

所属期刊栏目：53

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金10276023;中国工程物理研究院联合基金

在线出版日期：2004-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：555-560