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10.3321/j.issn:1000-3290.2003.04.008

中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量

引用
在"星光-Ⅱ"装置上以类Ne铬x射线激光作为标定源,以平场光栅谱仪为分光元件进行了28.5nm的Mo/Si多层膜反射镜效率测量.介绍了实验方法,给出了实验结果,本次研制的两块多层膜镜反射率分别为3.1%和9.6%.

x射线多层膜反射镜、反射率测量、x射线激光

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O4(物理学)

国家自然科学基金19974074,6018007;国家高技术研究发展计划863计划

2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

809-812

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物理学报

1000-3290

11-1958/O4

52

2003,52(4)

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