反应溅射法制备TiO2薄膜

摘要：

报道了用反应溅射法制备TiO2薄膜的实验研究.详细研究了氧分压、基底温度和退火温度对成膜结构的影响.制备出了具有金红石和锐钛矿晶体结构的TiO2薄膜.分析了金红石和锐钛矿晶体的形成条件,并对薄膜的表面形貌进行了测量.

关键词：反应溅射、TiO2薄膜

所属期刊栏目：50

分类号：O4(物理学)

资助基金：中国节能投资公司资助项目20000412

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1390-1395