离子的轰击对Si衬底上金刚石核附着力的影响

摘要：

利用扫描电子显微镜和原子力显微镜对负衬底偏压增强金刚石核化的过程进行了分析，从理论上探索了负衬底偏压作用下离子的轰击效应增强金刚石核在Si衬底上附着力的机理，给出了金刚石核与衬底的附着力和衬底负偏压之间的关系.

关键词：金刚石膜、离子轰击、核化、附着力

所属期刊栏目：50

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金19904016

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：251-255