晶圆厂设施布局规划研究

摘要：

半导体制造是集技术、资金、人才于一体的行业,投资巨大,建设周期长.在半导体制造业中,由于对洁净室的环境要求高,半导体设备的昂贵、敏感性和工艺的复杂性,以及高昂的移机费用,增加了晶圆厂布局的难度与挑战,使得工厂的设施布局规划显得尤为重要.

关键词：半导体、晶圆厂、设施布局规划

所属期刊栏目：36

分类号：TH69(专用机械与设备)

在线出版日期：2014-07-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：134-136