膜厚对溶胶-凝胶法制备Al、Ga共掺杂ZnO薄膜性能的影响

摘要：

采用溶胶-凝胶旋涂法在玻璃衬底上制备不同膜厚的Al、Ga共掺杂透明导电 ZnO 薄膜.其他参数一定的情况下,通过控制旋涂次数得到不同厚度的薄膜,研究了薄膜厚度对 GAZO 薄膜的物相结构、表面形貌以及光电性能的影响.实验结果表明:所制备的 GAZO 薄膜均为六方纤锌矿结构多晶薄膜.随着膜厚的增加,GAZO 薄膜(002)衍射峰强度增强,晶粒尺寸变大,薄膜结晶质量提高.在可见光范围内薄膜的平均光学透过率大于88%,薄膜电阻率随膜厚的增加逐渐减小.膜厚为10层(250 nm)的GAZO 薄膜光电综合性能最佳,其平均光学透过率高达98.5%,电阻率为4.9×10-3 Ω·cm.

关键词：溶胶-凝胶旋涂法、薄膜厚度、GAZO薄膜、光电性能

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分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家留学基金CSC201708420285;广西科技厅项目2015AA07036

在线出版日期：2018-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：91-95