基于PVDF阵列的微结构表面形貌感测方法研究

摘要：

针对光学扫描方法存在的检测设备昂贵、检测时间较长等不足,本文提出了一种基于PVDF压电薄膜阵列的微结构表面形貌感测方法.通过理论分析,得到在利用PVDF阵列检测材料微形貌特征曲线时平均微应变与输出电荷之间的函数关系,构建了微应变输入与电信号输出之间的数学模型,并从PVDF阵列结构的角度,分析了该检测方法产生误差的主要原因.结果表明,本文提出的基于PVDF压电薄膜阵列的微形貌感测方法精度相对较高,能够实现对材料表面形貌特征曲线的表征.

关键词：PVDF压电薄膜、阵列、微结构、表面形貌、感测、形貌重构、曲线拟合

所属期刊栏目：44

分类号：TF31(冶金机械、冶金生产自动化)

资助基金：国家重点研发计划;湖北省自然科学基金

在线出版日期：2021-06-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：256-261