平板式ZrO2氧传感器叠压工艺的研究

摘要：

采用叠成热压工艺制备平板式ZrO2氧传感器,用正交试验法比较基片的叠压压力以及温度、叠压时间对片层之间结合紧密性的影响.结果表明,对基片进行一定的溶剂润湿处理,叠压程序控制在80 ℃×300 s,压力为0.2 MPa时片层之间结合最紧密,烧结之后基本无裂纹和翘曲现象.

关键词：氧传感器、正交分析、叠成热压

所属期刊栏目：31

分类号：TQ174.75+8.2

资助基金：湖北省教育厅科研资助项目2004D012;武汉市科技计划项目200860423205

在线出版日期：2009-02-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：583-586