多弧离子镀制备TiN/AlN纳米多层膜及其超硬效应

摘要：

采用多弧离子镀技术在高速钢表面制备TiN/AlN纳米多层膜,并对 TiN/AlN纳米多层膜的表面形貌、调制机构进行表征.通过对薄膜显微硬度的测试发现,纳米多层膜的显微硬度明显高于TiN 或AlN单层薄膜的显微硬度,具有明显的超硬效应.对比试验表明,TiN/AlN纳米多层膜涂层刀具比TiN 涂层刀具具有更长的使用寿命.

关键词：多弧离子镀、TiN/AlN纳米多层膜、超硬

所属期刊栏目：31

分类号：TG174.375(金属学与热处理)

资助基金：湖北省教育厅资助项目2002A01008

在线出版日期：2008-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：312-315