10.3969/j.issn.1674-3644.2003.03.007
表面涂层的制备工艺与测试技术
表面涂层技术能够改变材料及其制件表面成分和组织结构,获得性能优异的表面薄层,因而广泛应用于各行业.目前普遍采用的制备工艺是PVD和CVD技术.比较研究这两种技术及其改进方法,并分析膜厚检测、薄膜成分和结构以及力学性能等测试技术.
表面涂层、制备工艺、测试技术
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TF124.8+4(冶金技术)
2003-11-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
241-244,261