微波法金刚石膜的均匀沉积

摘要：

采用微波等离子体化学气相沉积法,以氢气和甲烷为主要反应气源进行了大面积金刚石膜的沉积,研究了基片温度、微波功率和沉积气压对大面积金刚石膜均匀性的影响.采用红外测温仪测量基片不同区域的温度,利用扫描电子显微镜表征金刚石膜不同区域的表面形貌.结果表明:较高的微波功率有利于提高金刚石膜的沉积面积和沉积质量,但随着微波功率的提高,基片温度的均匀性也逐渐降低.在对装置的基片台和天线结构进行优化改进后,获得了均匀性较好的基片温度.在改进后的装置中产生的等离子球状态稳定,利用合适的工艺参数沉积得到了均匀性较好的大面积金刚石膜.

关键词：化学气相沉积、均匀性、金刚石膜

所属期刊栏目：36

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金项目11175137

在线出版日期：2014-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：14-19