生长温度对掺钛氧化锌薄膜光学性质的影响

摘要：

以氧化锌钛陶瓷靶作为溅射源,采用磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了掺钛氧化锌(TZO)透明导电薄膜,通过X射线衍射仪和分光光度计测试表征以及全光谱拟合法分析,研究了生长温度对TZO薄膜晶体结构和光学性质的影响.结果表明:所有TZO样品均为六角纤锌矿结构,并具有(002)择优取向,生长温度对薄膜晶粒尺寸和光学透射率的影响较明显,而对折射率、消光系数和光学能隙的影响较小.当生长温度为200℃时,TZO薄膜的晶粒尺寸最大,可见光范围平均透射率(含衬底)为76.1％,对应的直接光学能隙为3.45 eV.

关键词：掺钛氧化锌薄膜、磁控溅射、微观结构、光学常数

所属期刊栏目：34

分类号：TM914

资助基金：湖北省自然科学基金资助项目2011CDB418;中南民族大学研究生创新基金chxxyz120023

在线出版日期：2012-12-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：34-38