氢等离子体处理金刚石成核面

摘要：

通过用氢等离子体对微波等离子体化学气象沉积法在钼基体上制备的金刚石厚膜的成核面进行表面处理,并利用拉曼光谱、扫描电镜和X射线光电子能谱对处理前后金刚石成核面进行表征,比较了处理前后金刚石成核面金刚石相含量、表面粗糙组度,并分析了薄膜中钼原子的化合态及百分含量.结果表明:经过氢等离子体处理后的金刚石成核面的金刚石相含量提高,表面粗糙度增大,钼原子的百分含量由1.64％变为0.83％,且能有效还原成核面上钼的氧化物生成碳化钼和碳化二钼.

关键词：氢等离子体、金刚石厚膜、化合态

所属期刊栏目：34

分类号：TQ164

资助基金：国家自然科学基金项目10875093

在线出版日期：2012-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：33-36