PET材料表面制备氧化硅薄膜的研究

摘要：

为了满足材料在饮料、啤酒等包装领域方面的要求,在PET材料内壁涂覆氧化硅薄膜是一种十分有效的方法.本文分别使用磁控溅射法和微波等离子体化学气相沉积法(PECVD)在PET材料表面制备了氧化.硅薄膜,通过结果分析,对两种方法从原理、各自优点等方面进行了比较,并就沉积时间、工作气压、电源功率对各自所沉积薄膜阻隔性的影响作了相应分析,得出了两种方法各自的最佳工艺条件.

关键词：PET、氧化硅薄膜、磁控溅射、PECVD、阻隔性能

所属期刊栏目：32

分类号：TB324;TB43(工程材料学)

在线出版日期：2010-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：70-73