微波ECR氧等离子体参数测量

摘要：

利用双探针对微波ECR氧离子体参数进行了诊断研究,测量了等离子体的双探针伏安曲线并计算出电子温度和离子密度,分析了气压、微波功率、氧气流量等参数对等离子体参数的影响.结果表明:a.随着气压的升高,等离子体密度先增大后减小,电子温度逐渐减小.b.等离子密度随微波功率的增加先增加后达到饱和,电子温度受微波功率影响很小.c.随着氧气流量的增加,等离子体密度和电子温度都减小.

关键词：ECR等离子体、朗谬尔双探针、电子温度、等离子体密度

所属期刊栏目：31

分类号：O539(等离子体物理学)

资助基金：国家自然科学基金10875093

在线出版日期：2009-06-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：51-53