热丝CVD法制备大面积金刚石厚膜

摘要：

采用热丝化学气相沉积(HFCVD)设备与工艺,在直径为90 mm的钨基体上,以丙酮为碳源,制备了(111)取向的大面积金刚石厚膜,厚膜平均厚度达到1.2 mm.用x-ray衍射、扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对金刚石厚膜的织构、形貌和成分进行了分析,结果表明所制备的金刚石厚膜质量很好且有较高纯度.

关键词：热丝化学气相沉积、金刚石厚膜、质量、纯度

所属期刊栏目：30

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：湖北省科技攻关项目2002AA105A02;湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划

在线出版日期：2008-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：80-82