热丝CVD法制备金刚石管

摘要：

以钨丝作为基体,用氢气和丙酮作为反应气体,在热丝化学气相沉积装置中制备出了金刚石管,其生长速度达到了4 um/h.扫描电镜和激光拉曼光谱的测试结果表明制备出的金刚石管质量较好.

关键词：金刚石薄膜、金刚石管、热丝化学气相沉积法

所属期刊栏目：30

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划2004

在线出版日期：2008-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：73-75