微波等离子体制备氮杂二氧化钨钒薄膜

摘要：

根据二氧化钒在68℃附近发生相变的这一特性,选用V2O5和W2O3为前驱物,通过在玻璃片上镀膜,采用微波等离子体增强法,合成了氮杂二氧化钨钒(V0.98W0.02O2-xNy)薄膜.通过XRD表征了样品的组成,用自制的仪器测量了合成样品的相变温度,结果表明:样品为氮杂二氧化钨钒(V0.98W0.02O2-xNy),通过氮掺杂能有效降低二氧化钨钒薄膜的相变温度,相变温度最低可以降至35℃.

关键词：微波等离子体、氮杂V0.98W0.02O2-xNy、相变温度、薄膜

所属期刊栏目：30

分类号：O484;TB43(固体物理学)

资助基金：湖北省自然科学基金2005ABA024

在线出版日期：2008-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：44-47