CVD金刚石膜激光切割工艺研究

摘要：

研究了焦点位置、光栏、输出能量对金刚石切割的影响.结果表明采用Nd∶YAG激光器切割金刚石膜时,焦点处于切割膜的中部时,切缝最小;加光栏后,有利于减小切割宽度,提高断面质量;对于一定厚度的金刚石膜,应选择最小的、一次能切透金刚石膜的激光输出能量.

关键词：Nd:YAG激光器、金刚石膜、切割

所属期刊栏目：27

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：湖北省科技攻关项目2002A105A02

在线出版日期：2005-05-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：53-55