微波等离子刻蚀CVD金刚石膜提高机械研磨效率

摘要：

针对低温低压化学气相沉积(CVD)金刚石膜表面粗糙且厚薄不均,普通的方法抛光金刚石膜效率低的现象,采用空气等离子刻蚀金刚石膜与机械研磨相结合的抛光工艺,提高了金刚石膜的抛光加工效率.并与纯机械研磨法比较,通过观察样品的表面形貌,说明等离子刻蚀的作用.

关键词：金刚石膜、刻蚀、研磨

所属期刊栏目：27

分类号：O484.1(固体物理学)

在线出版日期：2005-03-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：56-59