WC-Co硬质合金上高质量金刚石薄膜的制备

摘要：

采用微波等离子体化学气相沉积法在硬质合金基体上制备金刚石薄膜.研究了铜过渡层和酸蚀脱钴两种基体前处理工艺以及在施加铜过渡层的情况下,不同的沉积气压和基片温度对金刚石薄膜的质量的影响.结果表明:在施加铜过渡层后,在适中的沉积条件下(沉积气压6.0 kPa,基片温度约为780℃)可得到质量较好的金刚石薄膜.

关键词：金刚石薄膜、硬质合金、薄膜质量

所属期刊栏目：23

分类号：O539;O484,5(等离子体物理学)

资助基金：湖北省教育厅科研项目99z022

在线出版日期：2004-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：44-46