金刚石薄膜的研究概况

摘要：

介绍了金刚石薄膜的制备方法及应用前景,简要分析了金刚石薄膜未来的研究重点.

关键词：金刚石、薄膜、化学气相沉积

所属期刊栏目：22

分类号：O484.4;O539(固体物理学)

在线出版日期：2004-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：37-39