MEMS刻蚀工艺仿真模型及研究进展

摘要：

随着计算机技术和微机电系统发展的需要,微加工刻蚀工艺的计算机模拟得到了飞速发展.综述了微加工刻蚀工艺的研究现状以及几种典型的工艺刻蚀仿真方法,分析了各种方法的优势和不足;重点介绍了在基于各向异性刻蚀方面应用广泛的元胞自动机法(CA),分析其优势所在,并阐述了CA模型的基本原理、发展变化和研究应用.

关键词：MEMS、刻蚀工艺、工艺仿真、元胞自动机

所属期刊栏目：45

分类号：TN05(一般性问题)

资助基金：江苏省普通高校专业学位研究生科研实践计划SJLX_0372;江苏省自然科学基金资助项目BK20131380;江苏省高校自然科学研究面上项目14KJB510025

在线出版日期：2015-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：661-665