RF MEMS器件驱动机制理论与分析

摘要：

介绍了驱动机制在RF MEMS器件制作中所处的地位.以悬梁类型的RF MEMS开关为例,介绍了RF MEMS器件的各种驱动方式,给出了其原理结构图;详细分析了静电驱动、压电驱动、热驱动和磁驱动的原理.对各种驱动机制进行了比较和分析,得出应根据不同场合和不同参数要求,选择不同驱动机制的驱动器.

关键词：RF MEMS、静电驱动、压电驱动、热驱动、磁驱动

所属期刊栏目：36

分类号：TN61(电子元件、组件)

在线出版日期：2006-09-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：416-419