SPC技术及应用

摘要：

介绍了SPC(统计过程控制)技术的技术流程、应用软件和具体实施方法.详细叙述了SPC技术的核心工具控制图技术及其在微电路生产中的应用.

关键词：SPC技术、控制图、应用软件

所属期刊栏目：31

分类号：TN305.99(半导体技术)

在线出版日期：2004-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：55-57