硅尖的制备及应用

摘要：

本文介绍了硅尖的制备及其在不同领域的应用.硅尖的制备方法可与现代IC工艺兼容且易削尖,故比其它材料微尖更实用.硅尖的应用随着制备工艺的改进与其它相关技术的进步必将得到新的开发.

关键词：硅尖、刻蚀、微加工技术

所属期刊栏目：31

分类号：TN304.1+2(半导体技术)

在线出版日期：2004-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：60-64