估算晶圆有效芯片数的椭圆公式

摘要：

IC生产线开发新品和核算成本时,需要估算晶圆上有效芯片数.靠经验公式估算通常有较大误差.作者曾提出一个精确的计算晶圆上有效芯片数的椭圆公式[1],适合于大规格晶圆和高成品率的生产线上应用.本文给出了椭圆公式的推导过程.

关键词：有效芯片数、核算成本、椭圆公式

所属期刊栏目：31

分类号：TN302(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金69776024

在线出版日期：2004-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-8