从微电子到"活动的硅"--系统集成的未来潜力

摘要：

本文主要介绍微电子发展趋势、微电子与微机械结合、系统集成的未来潜力.

关键词：微电子、趋势、微机械、系统集成

所属期刊栏目：31

分类号：TN401(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2003-12-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：10-13