如何提高超纯气体输送系统的可靠性

姜红华

无锡华润微电子有限公司;

摘要：

国际半导体技术的迅猛发展,对超纯气体的要求越来越高,超纯气体输送系统是超纯气体的污染源.本文介绍如何减少超纯气体输送系统对超纯气体的污染.

关键词：超纯气体输送系统、基本材料、组件、超纯输送系统设计、焊接技术

所属期刊栏目：31

分类号：TN104.7(真空电子技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：58-60