硅技术发展的极限突破

摘要：

介绍了硅技术的发展及现状;主要分析了硅技术发展中遇到的极限挑战及可能突破的方法,预测了21世纪硅技术发展方向.

关键词：硅技术、极限、突破

所属期刊栏目：31

分类号：TN304.1+2(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-3,24