GaAs微波单片集成电路(MMIC)的可靠性研究

摘要：

本文介绍了GaAs MMIC的可靠性研究与进展,重点介绍了工艺表征工具(TCV)、工艺控制监测(PCM)和统计工艺控制(SPC)等实现产品高质量、高可靠性和可重复性的可靠性保障技术,为国内GaAs MMIC可靠性研究提供了新的思路.

关键词：砷化镓、微波单片集成电路、可靠性

所属期刊栏目：31

分类号：TN386(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：49-52