1034探针台平面电机功放部件的维修

摘要：

在1034探针台中,驱动承片台在X-Y方向运动的平面电机功率放大部件是该设备的核心部件,其性能的好坏直接关系到探针台的性能.本文拟从简述平面电机的原理入手,对该功放部件的性能、测试方法和维修作一讨论.

关键词：承片台、平面电机、功放部件、封装

所属期刊栏目：30

分类号：TN323+.4(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：43-45,64