真空微电子学的现状及其应用

摘要：

本文综述了真空微电子学近年来的发展及其应用.主要包括FEA、材料及在FED、微波器件和其它方面的应用.

关键词：真空微电子学、场发射、FEA、FED

所属期刊栏目：30

分类号：TN48(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：16-21