改用离子注入替代外延生产话筒管

摘要：

结型场效应晶体管,长期来几乎都是采用外延扩散法工艺.随着微电子技术发展,半导体生产的离子注入设备及工艺相继推出,离子注入工艺越来越成熟.本文介绍了应用离子注入替代外延扩散制造话筒管的工艺概况.

关键词：离子注入、驻极体、话筒管

所属期刊栏目：30

分类号：TN305.3(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：62-64