NV10-80大束流注入机离子源电路原理分析及维修经验浅谈

摘要：

本文较为详细地分析了Eaton NV10-80大束流离子注入机离子源电路工作原理,包括ARC电压、灯丝电流、气源压力调节及固体源坩埚温度控制的电路工作原理,同时,又针对常见离子源故障解决作了剖析.由于Eaton NV10-80大束流离子注入机国内半导体厂家使用较为广泛,其它型号的离子注入机也可借鉴,本文有较高的实际指导意义.

关键词：离子源、ARC电源、灯丝电流、气源压力、坩埚温度

所属期刊栏目：30

分类号：TN305.3(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：29-33