新型多元胞结构2BT100固体放电管设计与工艺

摘要：

本文简要阐述了新型半导体器件2BT100固体放电管的研制,在设计上采取了多元胞结构,在制作上采用了双面扩散技术,提供了一些工艺过程,给出了一些测试数据.

关键词：多元胞、放电管、双面扩散

所属期刊栏目：30

分类号：TN302(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：33-35