半导体工艺技术与半导体设备的关系

摘要：

半导体工艺技术的发展涉及多门学科和多种因素,而其中半导体设备的作用至关重要.本文以世界上最大的半导体设备制造商--美国应用材料公司(Applied Materials CO.)生产的众多半导体设备中的刻蚀设备的发展为主线,从一个侧面阐述了半导体工艺技术的发展与半导体设备的密切关系.从而说明半导体设备和工艺技术对相应的发展都起着非常重要的作用.

关键词：缺陷密度、刻蚀、介质

所属期刊栏目：30

分类号：TN301(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：27-32