数模混合电路的工艺开发

摘要：

本文简要说明了数模混合电路工艺平台的建立过程中,单项工艺的开发和工艺集成的建立.

关键词：数模混合电路、氧化、工艺集成

所属期刊栏目：30

分类号：TN45(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：34-36