用MOCVD和快速热处理工艺制备钛酸铋铁电薄膜

摘要：

采用MOCVD工艺,制备非晶态Bi4Ti3O12薄膜,然后经过快速退火处理,制备高度择优取向的Bi4Ti3O12铁电薄膜,运用X射线衍射术分析薄膜材料的结构,X射线显微分析仪测量薄膜材料的组份,并通过电滞回线的测量,研究快速退火对Bi4Ti3O12薄膜结构和电性能的影响.

关键词：MOCVD、XRD、快速退火、铁电薄膜

所属期刊栏目：30

分类号：TM22+3(电工材料)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：16-19,28