基于阳极氧化法的纳米结构加工和纳米器件的制备

摘要：

本文报导了阳极氧化法实现纳米加工的技术研究和在纳米器件研究中的应用,特别讨论了实验装置的改进.

关键词：阳极氧化、纳米结构、纳米器件

所属期刊栏目：29

分类号：TN304.1+2(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金69925410,19904015

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：17-21