IC生产质量监控要素

摘要：

本文讨论了集成电路生产中监控质量的主要因素.内容覆盖工艺开发、设计验证、工艺变更的管理、设备维护、在线检测/监控,以及PCM等.重视FAB厂与设计公司技术信息的交流,加强设计和工艺之间的沟通,保持关键工艺参数的稳定,必将显著提高IC产品的质量.

关键词：质量监控、设计验证、PCM、工艺标准化、设计规则

所属期刊栏目：29

分类号：TN406(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：42-45