GFQ-1SiO2腐蚀清洗机的研制

严瑞芳张燕华梁军

无锡华晶电子设备制造有限公司;

摘要：

本文阐述了SiO2腐蚀清洗机的主要结构和适用范围,着重介绍了该设备设计与制造过程中的主要技术关键和解决途径,以及投入使用后所取得的社会和经济效益.

关键词：耐蚀、循环、平稳

所属期刊栏目：29

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-31,54