高频、高压晶体管设计与制造工艺研究

摘要：

本文介绍了高频、高压双极型晶体管的一种设计结构和制造工艺.用该设计与工艺做出了耐压大于200V、fT大于200MHz的产品.

关键词：特征频率、基区宽度、结电容、栅环

所属期刊栏目：29

分类号：TN323+.2(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：16-18