新型功率混合集成电路材料——氮化铝(AlN)

摘要：

本文主要介绍了AlN的成瓷工艺，金属化方法、特性及在新型电子元器件中的应用示例，AlN在功率电子领域有望取代BeO，成为本世纪大量应用的主导电子材料。

关键词：AlN、金属化、功率电路

所属期刊栏目：29

分类号：TN304.2(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：46-49