微电子机械加工研究

摘要：

本文介绍了微电子机械制造工艺的基本要求，尺寸极限。并且设计了一个3D集成式微结构制造系统。该系统是在旋转工作台面上，用快速中子原子束刻蚀来实现3D成形。

关键词：微电子机械制造、微机械应用、仿生学、快中子原子束

所属期刊栏目：29

分类号：TH05

资助基金：浙江省自然科学基金 599019

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：3-7