PERC电池EL暗片研究

摘要：

介绍了一种通过调整背钝化工艺改善多晶硅背钝化电池缺陷的方法.采用背钝化新型电池片工艺,在正常生产过程中EL会呈现有规律的区域发暗,严重影响电池片性能.本文通过优化PECVD工艺时间和退火温度,使电池片EL区域发暗得到解决,同时还提升了电池片效率.

关键词：PERC、PECVD、ARD、背钝化、氧化铝、EL暗片

分类号：TM914.4;TN305;TP3

在线出版日期：2018-10-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：38-40,35