单晶硅棒在线晶线测量

摘要：

单晶炉非接触式硅棒晶线的测量过程需始终在高温负压的环境中进行,针对此种现象,本文提供了一种单晶炉非接触式硅棒晶线测量方法,该方法可检测出硅棒在高温负压的环境中进行生长时是否存在晶线.

关键词：单晶硅生产、晶线、测量

分类号：TN304.12;TM914.41;TH117.1

在线出版日期：2017-08-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：27-28