低压磷扩散工艺研究

摘要：

分析了低压磷扩散较常压扩散的优势,论述了低压磷扩散的工作原理及可以调节的工艺参数.通过研究真空条件下源流量、扩散时间、源瓶压力、真空泵压力等扩散工艺参数对扩散方块电阻的影响,了解低压磷扩散工艺的调试思路、途径及方法,便于更高效开展低压磷扩散工艺的调试.

关键词：低压扩散、源流量、源瓶压力、泵压力、扩散时间

分类号：TB752;TN304;O484

在线出版日期：2016-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：32-35