空心阴极气流溅射法快速沉积具有高活性光催化作用的TiO2薄膜(上)

摘要：

光催化剂TiO2薄膜是用两个平行Ti靶的空心阴极气流溅射方法沉积而成,氩气和氧气流量分别是3000 sccm和0～ 50 sccm,在沉积过程中总气压维持在45 Pa.在氧气流量为30 sccm时,TiO2膜最大沉积率为162 nm/min,之后在空气中300℃,1h进行退火工艺,用来作光催化分解乙醛(CH3CHO),和一般反应溅射相比,后退火膜显示出非常高的光催化作用.

关键词：空心阴极气流溅射、沉积、光催化、TiO2

分类号：TG174.444;TB383;O643

在线出版日期：2014-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：16-17