多晶硅“碳头料”清洗使用研究

摘要：

通过自配的SORNID系列清洗液研究了其对多晶硅“碳头料”的清洗效果及清洗“碳头料”后对多晶铸锭的影响.采用红外探伤检测仪(IR探伤)、微波光电导衰减仪(μ-PCD)和傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)进行了综合表征.研究表明:SORNID-3清洗液对“碳头料”清洗效果明显；使用120kg清洗后“碳头料”完全满足多晶铸锭的工业要求,所铸晶锭具有厘米级大晶粒,呈柱状晶粒结构；平均少子寿命能达到3.57μs,晶棒少子寿命分布呈倒U型,收益率能达到69.16％;硅片替位碳含量低于10ppm.

关键词：多晶硅、硅碳分离、少子寿命、替位碳含量

分类号：TN304.07;TM914.4;O657.33

在线出版日期：2012-06-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：26-30